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半導體PS2002/PS2202漢鐘螺桿泵維修保養

更新時間:2024-07-04

簡要描述:

半導體PS2002/PS2202漢鐘螺桿泵維修保養PS系列螺桿真空泵
定螺距螺桿轉子特點:
1、結構簡單,故障率低,成本較低,易維修
2、高壓段功耗相對低,適用于高負載應用場合
3、排氣路徑短,減少反應物沉積

適用一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、太陽能產業、半導體面板業制程
PS系列螺桿真空泵型號:PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802

PD系列螺桿真

  • 產品型號:
  • 廠商性質:經銷商
  • 產品廠地:東莞市
  • 訪問次數:1399
品牌其他品牌輸送介質其他
泵軸位置臥式葉輪數目其他
應用領域生物產業,能源,電子,航天,電氣

半導體PS2002/PS2202漢鐘螺桿泵維修保養

PS系列螺桿真空泵

定螺距螺桿轉子特點:

1、結構簡單,故障率低,成本較低,易維修

2、高壓段功耗相對低,適用于高負載應用場合

3、排氣路徑短,減少反應物沉積


適用一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、太陽能產業、半導體面板業制程

PS系列螺桿真空泵型號:PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802


PD系列螺桿真空泵型號:PDF110,PD120,PD300,PD400,PD650,PD800,

高壓段抽速快

能耗可降低30%以上

氣冷馬達機型可搭配自循環冷卻系統,能使用在無冷卻水的系統環境

可提供符合ATEX標準的產品

變螺距螺桿轉子特點:

1,運行溫度低,適用于要求泵體表面及排氣溫度低的場合。                2,運轉功耗低,適用于輕負載應用場合,更節能。                        3,運行噪音更低,適用于運行噪音低的場合,如:貼合機,無塵室。

4,相同長度轉子,抽氣量更大。適用于大抽氣量的真空需求。


真空壓力:≤7.5*10-3 Torr

                 ≤0.01 mbar

                 ≤1 pa


漢鐘PS系列、PD系列維修


維修步驟:

1、螺桿泵來料檢驗,真空度、運行時間、振動值、驅動器、電氣參數。

2、全部拆卸,油污清潔,打磨。

3 、按“螺桿泵維修處理通知單"更換所必需的零件,如:軸承、軸套、套筒、密封圈、齒輪,以確保可靠的優質服務和泵浦使用壽命。

4、泵的平衡,利用平衡和分析設備,調試佳的狀態,以減少噪音、振動,延長軸承壽命。

5、測試檢查,參照原廠參數檢測,結合客人實際要求與螺桿泵磨損

PMF半導體干凈系列

用途:Semi conductor,Load lock,TFT-LCD,Touch Panel,Solar,Coating,Plasma Process,Drying Process,Degassing

PMF系列型號有PMF100,PMF120,PMF612


半導體PS2002/PS2202漢鐘螺桿泵維修保養

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東莞市鴻鑫真空設備有限公司

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